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1、空氣冷卻：羅茨
真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量必須從轉子傳至殼體而散發(fā)。但在低壓下，氣體對熱的傳導和對流性能極差，致使轉子吸收的熱量不易散出，造成轉子溫度永遠高于殼體的溫度。
由于轉子的熱膨脹，使轉子與轉子間、轉子與泵殼間的間隙減少，特別在壓差也高的情況下，尤為嚴重，甚至造成轉子卡死，使泵損壞。為了使羅茨泵在較高的壓差下工作，以擴大使用范圍，增加泵的可靠性，就必須設法散出轉子產生的熱量，也就是說要對轉子進行冷卻。
為了理解空氣冷卻的實質，先來看一下氣體在羅茨真空泵排氣一側的流動情況，在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過程不是連續(xù)的，而是突然的。吸入氣體隨轉子轉動而被封閉于腔內，又隨轉子的旋轉，使腔內的氣體突然與排氣口接通。
由于排氣一側的氣體壓力較高，排氣口處的氣體就向腔中返沖，然后又隨著轉子的旋轉而被驅趕排出泵外。這樣的過程在每旋轉一周中兩個轉子共進行四次排氣過程。
從上述氣體的流動情況可以設想：假若每次返沖到泵腔中的氣體是冷的，則可以在高溫的泵腔內吸收大量的熱量，這些吸收了熱量的氣體又在轉子的繼續(xù)壓縮中排出，從而會達到轉子冷卻的目的。
空氣冷卻就是運用上述原理。在泵的排氣口處設置密集的冷卻片，冷卻片用冷水管進行冷卻，或在泵的排氣口處直接安裝冷卻水管，這樣排氣口處的氣體就會降溫，這種冷卻方法能有效地散出羅茨泵轉子在壓縮氣體中所產生的執(zhí)量。而且當排氣壓力較高時，因氣體分子的密度大，使熱傳導性能更好，其冷卻效果也好些。
使用這種方法能保證泵在較高的壓差下作，實驗證明，一臺羅茨泵在30Torr壓差下運轉6h，其轉子在外殼的溫度差為22度，當在排氣口處安裝冷卻器后，在85Torr壓差下長其運轉，其溫差也不超過17度。一般說來，羅茨真空泵采用空氣冷卻之后，可將壓差提高80Torr，而不加冷卻器一般只能達到15~30Torr。
這種冷卻方法與環(huán)境溫度有關系，環(huán)境溫度高吸入的氣體溫度就高。則冷卻效果就不好。此外，這種方法只能避免高壓差產生的高熱，而不能防止泵壓縮過程中發(fā)熱，而引起間隙變小的問題，所以受泵本身間隙的限制。
2、轉子的內部冷卻：為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運轉時轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。
例如在80Torr壓差下工作時，羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度，同時還發(fā)現(xiàn)泵負荷越重時，則間隙越大，這是因為轉子用油冷卻，溫度比殼體低，負荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會增大。
由于負荷大，轉子和殼體溫差不斷增高，使間隙不斷增大，這會使首逆流增大，引起羅茨真空泵抽速下降。為了克服這個缺點，羅茨泵在高負荷下工作時，需要采用有效措施，一般是將羅茨真空泵的外殼和轉子同時采用油循環(huán)系統(tǒng)進行冷卻。
3、轉子的油膜冷卻：這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。油經過濾器器、冷卻器，通過密封良好的油泵，再經過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉子上之后，隨著轉子的旋轉而均面在轉了子的表面上。
這不僅將轉子的熱量帶走，同時在兩個轉子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉子表面上依附的微細塵埃帶走。在泵的出口處設有油槽，收集廢油，經過過濾，冷卻后重新循環(huán)使用。
此種方法效果良好。但由于泵內有油，失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。再則油具有一定的粘度，對高速旋轉的羅茨泵轉子增加了不少的摩擦力，當然使泵的功率消耗增加。所使用的油，要求飽和蒸汽壓應盡量代。
4、水冷卻：所謂濕式羅茨真空泵，即是由間級或雙級泵吸入的空氣經壓縮后，通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。將微量的水注入泵內，便能消除因壓縮空氣而產生的熱量。吸入水管裝在單級或雙級泵組的吸氣端并連接到真空泵的進氣口上。
水是靠真空泵產生的真空度而吸入，真空度越大，吸入水量就越高。用一只簡單的調節(jié)閥門便能保證好的吸入量，吸入水的溫度應保持在20度左右，要清潔，無鈣質。
