專業(yè)負(fù)壓真空設(shè)備提供商
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真空系統(tǒng)按真空區(qū)域可分為：中、低真空系統(tǒng)，高真空系統(tǒng)，超高、極高真空系統(tǒng)。它們由不同的主泵、輔助系及其它相應(yīng)的真空零(部)件組成。中、低真空系統(tǒng)由機(jī)械泵或機(jī)械泵加羅茨泵組成，為防止油污染，還可加入分子篩阱，但在操作時(shí)要防止分子篩固體顆粒吸入機(jī)械泵中。高真空系統(tǒng)主要由擴(kuò)散泵、障板、冷阱、插板閥和機(jī)械泵等組成，主泵也可用渦輪分子泵或低溫泵。為進(jìn)一步減少油污染，可用濺射離子泵與鈦升華泵和低溫障板一起構(gòu)成一臺(tái)無(wú)油高真空抽氣機(jī)組，其前級(jí)用吸附泵粗抽。超高和極高真空系統(tǒng)最重要的標(biāo)志是清潔度高，只要采用高性能的離子泵、低溫泵、渦輪分子泵和冷阱等，就可實(shí)現(xiàn)超高和極高真空。 獲取真空，靠真空系統(tǒng)的抽氣來(lái)完成。根據(jù)所要求的真空度和清潔度，采用不同的真空系統(tǒng)。
各種真空系統(tǒng)的啟動(dòng)、停機(jī)、操作過(guò)程及產(chǎn)生故障時(shí)對(duì)污染的防護(hù)都有嚴(yán)格要求，必須遵守操作規(guī)程。比如，機(jī)械泵只能抽15Pa—20Pa或更高的壓力，否則反流污染嚴(yán)重;擴(kuò)散泵在正常工作前和停泵20min內(nèi)油蒸氣污染很大，故不得與真空室或冷阱相通;停機(jī)時(shí)冷阱要在與真空室隔離、排除液氮并回溫后方可停止高真空泵;吸附泵應(yīng)有防壓力爆破裝置，以防回溫后產(chǎn)生事故;要防止分子篩吸附阱中的分子篩及其固體粉末吸入機(jī)械泵。
